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Extrafeines Werkzeug mit Superlupe

Extrafeines Werkzeug mit Superlupe

Das Fokussierte Ionenstrahl-Mikroskop (FIB) © Max Fuhrmann/TU Braunschweig

Das Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) an der TU Braunschweig verfügt über ein Fokussiertes Ionenstrahl-Mikroskop (FIB), ein Elektronenstrahlmikroskop, an das man seitlich eine FIB-Säule angebaut hat. Dadurch zeigen zwei Strahlen auf dieselbe Stelle: der fokussierte Ionenstrahl aus Gallium-Ionen bearbeitet eine Probe und der bildgebende Elektronenstrahl liefert Bilder davon. Das FIB kann die Qualität von Nanostrukturen kontrollieren, TEM-Lamellen oder Prototypen herstellen und vieles mehr. Wie es funktioniert, erläutert die TU Braunschweig in diesem Artikel.