Breaking GaN

© Max Fuhrmann/TU Braunschweig
Dr. Jana Hartmann und Juliane Breitfelder (v.l.) im neu ausgestatteten Reinraum des Instituts für Halbleitertechnik der TU Braunschweig.

Präzise Maschinen für die nächste Generation von LED-Chips

Der Weg zu neuen LED-Technologien erfolgt Schicht für Schicht und ist wortwörtlich ätzend. Damit am Institut für Halbleitertechnik der TU Braunschweig etwa blaue LEDs aus Galliumnitrid (GaN) entstehen können, braucht es daher hochspezialisiertes Reinraum-Equipment. Mit zwei neuen Geräten öffnen sich jetzt weitere Wege für die Halbleitertechnik, von denen vor allem QuantumFrontiers und das Quantum Valley Lower Saxony (QVLS) profitieren. Dahinter stehen mehrere Jahre Arbeit. Schließlich hat jede der Maschinen ihre Eigenheiten, denen nur ein Elektronenmikroskop auf die Schliche kommt.

Zur Meldung der TU Braunschweig.