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Abbildende Müller-Matrix-Ellipsometrie für die Charakterisierung vereinzelter Nanostrukturen

verfasst von
Tim Käseberg, Jana Grundmann, Thomas Siefke, Stefanie Kroker, Bernd Bodermann
Externe Organisation(en)
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Technische Universität Braunschweig
Typ
Artikel
Journal
Technisches Messen
Band
89
Seiten
438-446
Anzahl der Seiten
9
ISSN
0171-8096
Publikationsdatum
01.06.2022
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Peer-reviewed
Ja
ASJC Scopus Sachgebiete
Instrumentierung, Elektrotechnik und Elektronik
Elektronische Version(en)
https://doi.org/10.1515/teme-2021-0133 (Zugang: Offen)