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Wafer-scale transfer route for top–down III-nitride nanowire LED arrays based on the femtosecond laser lift-off technique

verfasst von
Nursidik Yulianto, Andam Deatama Refino, Alina Syring, Nurhalis Majid, Shinta Mariana, Patrick Schnell, Ruri Agung Wahyuono, Kuwat Triyana, Florian Meierhofer, Winfried Daum, Fatwa F. Abdi, Tobias Voss, Hutomo Suryo Wasisto, Andreas Waag
Externe Organisation(en)
Technische Universität Braunschweig
Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia
Institut Teknologi Sumatera (ITERA)
Technische Universität Clausthal
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Institut Teknologi Sepuluh Nopember
Gadjah Mada University
Typ
Artikel
Journal
Microsystems and Nanoengineering
Band
7
Publikationsdatum
12.2021
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Peer-reviewed
Ja
ASJC Scopus Sachgebiete
Atom- und Molekularphysik sowie Optik, Werkstoffwissenschaften (sonstige), Physik der kondensierten Materie, Wirtschaftsingenieurwesen und Fertigungstechnik, Elektrotechnik und Elektronik
Elektronische Version(en)
https://doi.org/10.1038/s41378-021-00257-y (Zugang: Offen)